(资料图片仅供参考)

1、 掩模上的吸收层（absorber）随温度的热胀冷缩（thermal expansion）会在掩模表面形成应力，掩模保护膜（pellicle）的蒙贴也会产生应力，这些应力的存在会导致掩模基板发生双折射。

2、称为掩模基板双折射。

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